吸气剂对氢、氩中杂质脱除机理及应用

摘要：

本文研究了吸气剂对氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机理及采用吸气剂纯化器大幅度提高气体指标、保障产气纯度的效果。

关键词： 半导体制备 洁净技术 氢气 氩气 杂质脱除机理 金属吸气剂

作者: 高嵩 赵霖 刘皖南 乐昀 邱长春

作者单位: 大连中鼎化学有限公司,大连 116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 444-447

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）