电子级八氟丙烷生产技术

摘要：

本文将从八氟丙烷生产工艺、工艺控制及质量控制、生产安全及环境净化三个方面进行介绍.其中,在八氟丙烷生产工艺中介绍了合成路线;在工艺控制中重点介绍了氟化过程和纯化过程的控制;在生产安全中将特别阐述氟气事故及突然停电所采取的应急措施.

关键词： 八氟丙烷 制备工艺 质量控制 环境净化 蚀刻剂

作者: 马建修

作者单位: 佛山市华特气体有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 448-451

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）