浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术

摘要：

本文对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求.

关键词： 八氟环丁烷 精馏吸附工艺 质量控制 蚀刻剂

作者: 陈艳珊

作者单位: 佛山市华特气体有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 457-460

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）