薄膜微带滤波器的制作工艺与应用

摘要：

文章简要介绍了一种薄膜微带滤波器的工艺制作过程（基片选择、滤波器设计、设计光绘、掩模版制作、镀膜、光刻、电镀、去胶、刻蚀、清洗、切割）.该过程操作简单,成本相对较低,产品性能可靠,可适用于批量化生产.

关键词： 薄膜微带滤波器 制作工艺 性能表征 成本控制

作者: 洪火锋

作者单位: 安徽华东光电技术研究所,安徽 芜湖 241002

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 524-526

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）