10纳米GaAs/AlAs超晶格薄膜厚度准确测量技术

摘要：

采用掠入射X射线反射技术(GIXRR)对GaAs/AlAs超晶格薄膜厚度进行测量。为了保证测量结果的准确、可靠，首先将设备溯源至SI国际单位的，其次研究了测量过程中影响因素，并通过多种方法进行验证，通过国际比对确保测量结果的准确一致。

关键词： 超晶格薄膜 砷化镓 砷化铝 厚度测量

作者: 任玲玲 高慧芳

作者单位: 中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 599-599

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）