一种在线式化学沉积工艺中的药液供给系统设计
在膜带传输过程中,实现在线连续沉积,会造成化学液的持续消耗,同时化学液中含有限制排放的镉离子,废液处理费用昂贵,因此无论从化学液消耗角度还是从降低废液处理费用角度,都要尽可能减少化学液的消耗量.针对这些难点,提出了化学液以液膜形式流过膜带表面,并对化学液流速进行控制的解决办法.再根据薄膜传输速度,对沉积工艺时间进行准确控制,从而实现膜带传输过程中的连续在线沉积.通过在线式化学沉积工艺中的药液供给系统设计，成功解决了化学液的自动配比和化学液温度控制这两方面的难题。
膜带传输 药液供给系统 在线式化学沉积工艺 化学液配比 温度控制
张伟峰
中国电子科技集团公司第45研究所
国内会议
2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
太原
中文
626-628
2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）