扫描电子显微分析技术的最新进展

摘要：

文章介绍了热场发射电子枪电源的工作原理与电路结构,分析了此类电源和相关控制技术的特点,论述了场发射枪电镜优秀性能的根源.文章还介绍了SEM信息接收与处理,谱分布与谱识别技术,最新离子溅射镀膜技术在SEM样品制备中的应用,基于SEM平台的开发工作.

关键词： 热场发射电子枪电源 扫描电子显微分析技术 信息处理 电路结构

作者: 姚琲

作者单位: 天津大学分析测试中心,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八次华北五省市电子显微学研讨会及第十届全国实验室协作服务交流会

会议地点: 贵州安顺

会议语种:中文

页码: 10-11

在线出版日期: 2014-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）