国产化GaN基MOCVD设备关键技术

摘要：

在半导体照明市场规模迅速成长的情况下,作为行业上游关键制造设备的MOCVD,国产化MOCVD设备在市场推广方面取得了阶段性的成果.作为代表的ProMaxyTM MOCVD具备多项含有核心竞争力的关键技术,本文对这些硬件关键技术和相应开发的外延关键工艺技术进行了讨论,本文同时还对通过ProMaxyTM MOCVD设备所生长的各项单层工艺和LED外延性能指标进行了测试和验证.

关键词： 发光二极管 金属有机物化学气相沉积设备 工艺技术 性能指标

作者: 邢志刚 颜建锋

作者单位: 中晟光电设备(上海)有限公司,上海 201203

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国LED产业发展与技术研讨会

会议地点: 安徽马鞍山

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2014-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）