紫外LED芯片透明电极的研制
(0) 透明电极的制作是LED管芯制作过程的关键技术,而由于紫外LED在其不同波段范围对可见光和紫外辐射的透过和吸收作用不同,其透明电极的设计就显得更为复杂.本文主要通过对氧化铟锡(indium-tin oxide,1TO)透明电极厚度的选取与ITO薄膜吸收性原理、薄膜增透性原理及方阻计算原理之间关系的分析,试验方法的设计,试验结果的比对,分析了ITO薄膜厚度的变化对紫外LED光电性能的影响,阐述了ITO透光电极在波长370-420nm的浅紫外波段的应用,供从事紫外LED管芯制造的同仁借鉴参考.
紫外发光二极管芯片 透明电极 制备工艺 光电性能
廉大桢 王省莲 杨建科 刘大为
西安中为光电科技有限公司,西安710065
国内会议
安徽马鞍山
中文
27-30
2014-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）