关键词： 6H-SiC单晶膜 p-n结 外延生长
作者: 徐良瑛 束青云
作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 71-71
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）