新型行波模式声表面波陀螺仪研究
由于哥氏力的作用效果比较微弱,现有的行波模式声表面波(SAW)陀螺仪的检测灵敏度极低.为提高其检测灵敏度,本文提出了一种新型行波模式SAW陀螺仪结构,研制了操作频率为95MHz的结合金属点阵的行波模式声表面波陀螺仪.该结构由压电基片上一对平行且反向设置的声表面波延迟线振荡器以及分布于声波传输路径上的金属点阵构成.通过理论计算不同金属点阵材料、不同点阵厚度对SAW陀螺效应的影响,提取了优化的设计参数并制作了相应的SAW器件,实验验证了不同陀螺仪的检测灵敏度.理论计算结果表明,增加金属点阵的厚度以及使用密度较大的点阵材料均能提高声表面波的陀螺效应,进而提高陀螺仪的检测灵敏度.通过精确速率转台对所研制的新型陀螺仪进行旋转实验,实验结果与计算结果完全吻合.
行波模式声表面波陀螺仪 金属点阵 参数优化 旋转实验
邵秀婷 王文 何世堂
中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室 北京 100190
国内会议
北京
中文
411-414
2014-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）