GATAN 691型离子抛光仪故障分析与处理

摘要：

文中对GATAN 691型离子抛光仪真空系统及离子源故障的维修实例进行了说明.详述了故障现象,分析了故障的原因,并给出了相应的处理方法.

关键词： 离子抛光仪 真空系统 故障分析 设备维修

作者: 高云 赵雪松 陈一鸣

作者单位: 武汉钢铁(集团)公司研究院,湖北 武汉,430080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中西部地区理化检验学术年会暨实验室主任经验交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 119-122

在线出版日期: 2014-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）