工作参数对扫描电镜图像质量的影响研究

摘要：

本文介绍了扫描电镜的工作原理、特点以及影响扫描电镜图像质量的工作参数.利用FEI Nova NanoSEM450型场发射扫描电镜分别讨论了加速电压、工作距离、束斑尺寸、扫描速度、信号种类、物镜种类和其他参数等对图像质量的影响及原因.根据不同样品得出单一较佳扫描工作参数,提出提高图像质量的方法.

关键词： 扫描电镜 工作参数 图像质量 显微结构

作者: 何文 叶寅 揭丽琳 艾云龙

作者单位: 南昌航空大学分析测试中心,江西 南昌 330063

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中西部地区理化检验学术年会暨实验室主任经验交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 380-384

在线出版日期: 2014-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）