溶胶-凝胶多孔性SiO2改性膜层性能研究

摘要：

应用于高功率激光装置的溶胶-凝胶多孔性SiO2膜层具有优异的光学性能和高的激光损伤性能。将多孔性SiO2膜层在氨水和六甲基二硅胺烷气氛中改性处理,提高膜层抗污染性能。测试数据表明改性膜层的光学性能和激光损伤性能稳定性在不同环境下有明显提升。

关键词： 激光装置 溶胶-凝胶多孔性二氧化硅膜层 光学性能 激光损伤性能 数值分析

作者: 李海元 沈斌 张旭 唐永兴

作者单位: 中科院上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国功能玻璃学术研讨会暨新型光电子材料国际论坛

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 69-70

在线出版日期: 2014-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）