电弧镀TiN薄膜的性能研究

摘要：

采用电弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面沉积氮化钛(TiN)薄膜,分别测试了薄膜的结构、表面形貌、显微硬度和摩擦磨损性能,研究了电弧离子镀沉积参数,如电弧电流、基体偏压对薄膜性能的影响.研究表明适当增加电弧电流和基体偏压的高压有助于提高TiN薄膜的力学性能,如薄膜硬度、耐磨损性能等;(111)晶面择优取向的TiN薄膜具有更高的硬度;较高的电弧电流沉积的薄膜中共沉积的颗粒均匀,且直径小于5um.

关键词： 电弧离子镀 氮化钛薄膜 沉积参数 性能指标

作者: 杨文茂 李雪源 吴志勇

作者单位: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川 绵阳621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国转化膜及表面精饰学术年会

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 175-176

在线出版日期: 2014-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）