钼板材轧制及热处理工艺对薄膜微观组织及性能的影响

摘要：

通过研究靶材变形量及热处理工艺对溅射薄膜的微观组织、表面粗糙度及晶形的影响,结果表明:变形量为80％的钼靶材沉积制备的薄膜晶化程度优于变形量小的靶材溅射的薄膜;溅射相同的薄膜厚度,随着靶材变形量的增大,溅射薄膜的方阻越大;1100℃退火靶材溅射薄膜的粗糙度最小,表面颗粒最细小均匀,晶粒取向明显;溅射工艺的变化对薄膜的电阻影响小.

关键词： 钼板材 轧制技术 热处理工艺 溅射薄膜 微观组织 表面粗糙度

作者: 刘仁智

作者单位: 金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西 西安 710075

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014(郑州)中西部第七届有色金属工业发展论坛

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 892-897

在线出版日期: 2014-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）