十英寸印刷型氧化锌纳米冷阴极的制备工艺及其均匀性控制

摘要：

氧化锌是一种性能优异的准一维纳米冷阴极材料.本文使用丝网印刷法在ITO玻璃上定域制备锌点阵,并使用热氧化的方法制得了十英寸氧化锌纳米冷阴极.研究了不同温度、通气量下生长的氧化锌纳米冷阴极的场发射性能,分析了提高大面积氧化锌纳米阴极生长均匀性的方法.

关键词： 真空电子学 氧化锌纳米冷阴极 制备工艺 丝网印刷法 场发射性能 生长均匀性

作者: 徐金龙 张宇 邓少芝 陈军 许宁生

作者单位: 中山大学 光电材料与技术国家重点实验室 广东省显示材料与技术重点实验室 物理科学与工程技术学院 广州 510275

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 786-788

在线出版日期: 2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）