MPCVD金刚石的研制及其应用研究

摘要：

本文介绍微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石的研制及其应用研究.讨论了影响RF级金刚石膜生长的各种参数及其选择原则,给出了金刚石膜的表征方法和结果.最后介绍了金刚石在短毫米波TWT中初步应用进展.

关键词： 微波真空器件 人工合成金刚石 等离子体化学气相沉积法 生长特性 性能表征

作者: 丁明清 李莉莉 杜英华 陈波 李力 董芮彤 冯进军 胡银富 蔡军

作者单位: 北京真空电子技术研究所 微波电真空器件国家实验室 100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 807-809

在线出版日期: 2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）