高压气固反应床制备氮化铬纳米粉体研究

摘要：

采用特殊液相沉淀法制备氢氧化铬前驱体纳米粉体为原料,并首次用高压气固反应床制备CrN纳米粉体,在650-850℃,压强为0-0.6MPa时,氨解2～4小时,制备高纯CrN纳米粉体,通过体用透射电镜(TEM)、X射线衍射(XRD)等方法进行了表征.研究了系统压力对氨解温度和氨解时间的影响,结果表明;用高压气固反应床制备的CrN纳米粉体需650℃,压强为0.6MPa时,氨解2小时,制得高纯CrN纳米粉体,粒径为40～60nm.

关键词： 氮化铬 纳米粉体 高压气固反应床 性能表征

作者: 李晓奇 王开明 贾红宝 葛牧

作者单位: 辽宁科技大学 理学院,辽宁 鞍山 114051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 82-86

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）