基于AlGaAs/GaAs/AlGaAs平板光波导偏转扫描器皮秒量级时间分辨率的全光固态条纹相机研究

摘要：

全光固态条纹相机，基于直接对光束进行偏转的机制，彻底的消除了借助于光电转换和电子束偏转过程中的空间电荷效应，有可能获得同时具有高时间分辨率和大动态范围的条纹相机。通过对全光固态条纹相机的原理及制作工艺的介绍，得到了偏转条纹，经过计算条纹宽度约为90μm。在此结果基础上，通过优化可以得到预期为ps量级的时间分辨率。

关键词： 全光固态条纹相机 偏转条纹 时间分辨率 空间电荷效应

作者: 梁玲亮 田进寿 汪韬 王俊峰 王超

作者单位: 中国科学院西安光学精密机械研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 134-135

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）