具有高雪崩耐量的三极管设计

摘要：

三极管的二次击穿是构成其安全工作区(SOA)的重要曲线.文中论述了二次击穿的机理,然后设计了一种具有高雪崩耐量的结构.采用TCAD软件TSUPREM4和MEDICI对器件结构进行仿真设计,对流片样品的动静态参数和雪崩耐量进行测试,测试结果雪崩耐量值达到设计要求.

关键词： 三极管 雪崩耐量 器件结构 仿真设计

作者: 张鹏 李泽宏 宋文龙 邹有彪 顾鸿鸣

作者单位: 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 219-223

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）