功率MOSFET中体二极管的特性研究和改善措施

摘要：

TPMOS的寄生体二极管出发,着重介绍了体二极管的反向恢复特性,尤其是软回复特性.结合我司对于体二极管的测试方法,详细介绍了体二极管的测试原理,并以我司SW3N80产品为例,给出了相关的测试条件和测试结果.同时给出了两点改善体二极管的方法,即阳极n+区优化结构和接触区挖槽结构.

关键词： 体二极管 反向恢复性 软度因子 结构优化

作者: 李佳斌

作者单位: 西安芯派电子科技有限公司,西安 720075

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 232-235

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）