MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置

摘要：

为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计、制作了一种由标准流量发生器和传感器检测电路与数据采集模块组成的简易流量测试装置.标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产生合适的恒定气体流速.通过理论分析和Ansys有限元数值仿真，验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器检测电路与数据采集模块基于内建多路AD变换器的单片机实现,具有传感器加热电阻的恒温控制、流量信号的数字检测和显示的功能.采用该简易流量测试装置，对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定，获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。

关键词： 气体流量传感器 微电子机械系统 有限元分析

作者: 高杨 代富 席仕伟 刘婷婷

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳 621999;重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室 重庆 400044 西南科技大学信息工程学院,四川 绵阳 621010 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳 621999 西南科技大学信息工程学院,四川 绵阳 621010;重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室 重庆 400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 255-263

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）