微米光栅加速度计的方案研究

摘要：

针对硅微光学加速度计器件的设计,给出了一种微米光栅加速度计的结构及光学检测原理.通过设计检测方法,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测光信号的能力.实现了微米光栅加速度计光信号检测灵敏度的提高.制定了微米光栅加速度计加工方案,成功制作出加速度计敏感头,同时制作了微米光栅加速度计检测电路,整体检测电路具有电路简单、抗干扰和易于集成的特点.实验结果表明,加速度计的标度因素提高一倍,探测效果得到明显改善.

关键词： 光学传感器 微米光栅加速度计 数值计算

作者: 冯丽爽 王潇 姚保寅 刘惟芳

作者单位: 北京航空航天大学惯性技术重点实验室,北京 100191

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 270-273

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）