微米光栅加速度计的光学灵敏度分析

摘要：

光学灵敏度分析对微米光栅加速度计整体精度的提高至关重要.本文以标量衍射理论为基础,针对影响微米光栅加速度计光学灵敏度的参数进行了分析和优化.首先,分析了光栅与反射面间距对光学灵敏度影响,得到间距为八分之一波长的奇数倍时灵敏度最高;其次，通过仿真证明光栅结构的占空比为0.5时，光栅各级次的衍射效率最高。最后，研究了入射到光栅上的光斑大小和波长对光学灵敏度的影响，结果表明光入射光斑越大，各衍射级次光斑模场直径越小，衍射效率越高；波长越短，工作区域内灵敏度越大。研究成果为下一步微米光栅加速度计的设计与研究提供了理论依据。

关键词： 光学传感器 微米光栅加速度计 标量衍射理论 光学灵敏度

作者: 刘惟芳 冯丽爽 姚保寅 王潇

作者单位: 北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,北京 100191;北京航空航天大学惯性技术重点实验室,北京 100191

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 274-278

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）