一种压阻式八固支梁三轴加速度传感器

摘要：

设计并制造了一种八固支梁结构的压阻式三轴加速度传感器.文中针对该结构的机械性能分析,建立了一个简化的数学模型,并采用有限元分析方法进行了仿真验证。给出了该加速度传感器的微加工工艺流程.测试结果显示x、Y、z三个方向的静态灵敏度分别为1.984mV/g、2.010mV/g、1.964mV/g；线性度分别为99.99％、99.99％、99.72％；轴间耦合因子≤2.53％。

关键词： 三轴加速度传感器 阻压式八固支梁 微机械加工技术 有限元分析

作者: 张永平 何常德 张娟婷 杜春晖 丑修建 张文栋

作者单位: 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051;中北大学 测试技术重点实验室,山西 太原 030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 291-294

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）