电化学腐蚀微细加工技术制备薄膜高频基板关键技术研究

摘要：

本文介绍了一种采用电化学腐蚀微细加工技术制备薄膜高频基板导带的方法。采用选择性电镀、电化学腐蚀技术来制备导带具有导带质量好，基本无侧向腐蚀，不受到线宽限制，设备投入低等优点，但需要对电化学腐蚀溶液进行优选，这个工艺流程中电化学腐蚀技术是关键工艺，它决定了基板中细导带的质量，和基板的可靠性和高频性能密切相关。

关键词： 薄膜高频基板 电化学腐蚀微细加工技术 产品质量 性能表征

作者: 罗驰 叶冬 刘欣

作者单位: 中国电子科技集团公司第24研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 304-305

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）