ZnO基阻变存储器

摘要：

本文系统的进行了Zn0纳米薄膜、纳米线、纳米岛阻变存储特性的研究工作。通过进行试验分析，采用Zn0纳米材料制备存储器，可实现各种存储功能，并有望将器件尺寸缩小到5nm以下。

关键词： 阻变存储器 制备工艺 氧化锌基纳米薄膜 性能表征

作者: 祁菁

作者单位: 兰州大学物理学院,甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 330-331

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）