MEMS加速度传感器低功耗前端读出电路设计与分析

摘要：

本文设计了一种MEMS加速度传感器的低功耗前端读出电路,读出电路采用设计要求带内动态范围达到120dB.设计的电路模块包括包括基准电压、基准电流及偏置模块,多相时钟同步模块,可编辑电容补偿阵列,读出放大器及其外围开关电路.基于MIXIC 0.5um CMOS工艺进行电路设计、版图设计和芯片制造,测试结果表明达到设计要求。

关键词： 加速度传感器 读出电路 版图设计 仿真分析

作者: 金湘亮 张文杰

作者单位: 湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭 411105

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 367-369

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）