基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统

摘要：

本文提出了一种多通道并行测试的MEMS(微电子机械系统)压力传感器自动测试平台.经过评估测试，该自动化测试平台具有较高的测试精度，测试误差小于t0.2％，为测量结果的准确性提供有力的保障，为进一步降低MEMS传感器成本，促进其在物联网领域的大规模应用奠定基础。

关键词： 压力传感器 微电子机械系统 自动测试平台

作者: 明安杰 赵敏 谭振新 吴健 欧文 陈大鹏

作者单位: 江苏物联网研究发展中心 智能集成传感器工程中心,无锡214135

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 421-421

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）