会议类型: 国内会议
会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
会议地点: 大连
会议语种:英文
页码: 422-422
在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）