功率半导体器件直流参数测试设备的研发

摘要：

功率半导体器件应用广泛,其直流参数测试设备有很大的需求.本文突破电容充放电产生脉冲大电流关键技术,成功开发了高压电压源、脉冲大电流源、可测试大电流的恒压源、小电流源、小电压源、数字电压表等直流参数测试设备重要组成部分,编制功率半导体器件直流参数测量软件,在此基础上,研制成功CESI系列功率半导体器件直流参数测试设备。

关键词： 功率半导体器件 直流参数 测试设备 电容充放电性能

作者: 刘冲 曹玉峰 李奇 徐迎春 阚劲松

作者单位: 中国电子技术标准化研究院计量与检测中心,北京 100176 北京无仪美达科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 429-433

在线出版日期: 2013-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）