自动阻抗调配器的校准技术探讨

摘要：

自动阻抗调配器在微电子行业应用越来越广泛,但是目前国内还没有计量技术机构开展该类仪器的计量校准工作,本文介绍了其机械结构,工作原理,设计了控制模型,组建了校准系统,实现了主要参数矢量重复性、驻波比和插入损耗的校准工作.

关键词： 自动阻抗调配器 性能参数 校准方法 控制模型

作者: 吴爱华 刘晨 栾鹏 孙晓颖 梁法国 郑延秋

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013无线电、电离辐射计量与测试学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 272-276

在线出版日期: 2013-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）