厚度对Ti-50%Zr合金薄膜结构的影响

摘要：

采用磁控溅射沉积技术制备了不同厚度的Ti-50％Zr合金(原子分数,以下简称Ti-50Zr合金)薄膜试样,利用X射线衍射(XRD)、X射线吸收精细结构谱(XAFS)和X射线光电子谱(XPS)技术分别对Ti-50Zr合金薄膜的晶体结构、原子局域结构和电子结构状态进行了研究.结果表明:随着Ti-50Zr合金薄膜厚度的减小,薄膜由结晶态变为非晶态,Ti-50Zr合金元素的最近邻原子距离和配位数随薄膜厚度减小而下降,元素的电子结合能逐渐增强.

关键词： 钛锆合金 薄膜结构 厚度变化 性能表征

作者: 张延志 管卫军 郑黎荣 赖新春 汪小琳

作者单位: 表面物理与化学重点实验室,四川绵阳718信箱35分箱 621907 中国科学院高能物理研究所,北京 100049

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国腐蚀与防护学会能源工程专业委员会2013年学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 51-56

在线出版日期: 2013-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）