多因素影响静电放电参数变化特性实验研究
在小间隙静电放电(ESD)中,有电极移动速度、气体压强会对放电参数的低重复离散特性产生影响.基于自主研发的新型测试系统可以完成可变气体压强放电和移动电极放电相关参数的测量.在间隙气体压强变化和以不同速度向靶移动放电的两种情况下,放电电流峰值和波形产生了显著的差异,实验测试证明了电极移动速度和空气压强对放电参数产生的影响.对放电参数受电极移动速度和气体压强变化可能的机制,进行了初步分析.
电子器件 静电学 放电特性 参数估计
阮方鸣 Xu Yongbing 徐平友 肖文军 丁安 陈葡
贵州师范大学电子信息工程系,贵阳市汽车电子重点实验室 贵阳市宝山北路116号 贵阳550001 英国约克大学纳米技术研究所,英国赫斯林顿 Y0105DD 中国振华集团有限公司 贵州省贵阳市新添大道北段278号,贵阳550018 同济大学电子与信息工程学院 上海市曹安公路4800号,上海201804
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2013-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）