接触式干涉仪常见问题及修理方法

摘要：

接触式干涉仪是以光波干涉原理为基础,采用微差比较法测量长度的高准确度仪器.通过对接触式干涉仪的结构及其测量原理的介绍,针对其在使用过程中出现的常见问题提出具体的修理方法.

关键词： 接触式干涉仪 故障分析 设备维修 运行机制

作者: 史恩忠

作者单位: 马鞍山市计量测试研究所,安徽 马鞍山 243000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量协会冶金分会冶炼传感器专业委员会2013年年会及技术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 166-167

在线出版日期: 2013-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）