电子工业用超高纯过氧化氢的制备工艺进展

摘要：

简要介绍了电子工业用超高纯过氧化氢(H2O2)水溶液的应用和规范.详细综述了通过超滤法、冷冻结晶法、萃取法、反渗透膜法、吸附法、蒸馏法和树脂法精制H2O2水溶液的工艺,并总结了各方法的优缺点.指出当前H2O2水溶液精制技术的发展趋势是将上述单一方法进行集成,同时重点介绍了将多种单元操作相集成来制备电子工业用超高纯H2O2水溶液的工艺.

关键词： 电子工业 超高纯过氧化氢 制备工艺 技术分析

作者: 于剑昆

作者单位: 黎明化工研究设计院有限责任公司,河南 洛阳 471000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国无机盐工业协会过氧化物分会2013年行业年会

会议地点: 江西九江

会议语种:中文

页码: 1-32

在线出版日期: 2013-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）