粒子碰撞噪声检测仪校准与测量不确定度评定

摘要：

粒子碰撞噪声检测仪是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,用于检测封装器件内的多余粒子.本文在分析粒子碰撞噪声检测仪测试原理的基础上,给出了校准方法.并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定.对于解决粒子碰撞噪声检测仪的校准和量值溯源问题，具有一定借鉴作用。

关键词： 微电子元器件 粒子碰撞噪声检测仪 校准技术 测量不确定度

作者: 邢荣欣 李洁 赵昭 王酣

作者单位: 中国电子技术标准化研究院,北京100176

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年全国几何量、力学专业计量测试技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 198-202

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）