M型钡铁氧体薄膜的研究现状及发展趋势

摘要：

介绍了M型钡铁氧体薄膜的射频(RF)溅射法、对向靶溅射(FTS)法、脉冲激光沉积(PLD)法、溶胶-凝胶(Sol-gel)法等主要制备方法,综述了近年来M型钡铁氧体薄膜的制备工艺、基底及缓冲层、掺杂取代等问题的研究现状,并结合其应用讨论了钡铁氧体薄膜目前存在的问题及发展趋势.应该拓宽视野，不仅要加强在实验方向的研究，更要强化其理论上的探讨。

关键词： 磁铅石型钡铁氧体薄膜 制备工艺 性能评价 目标规划

作者: 许志勇 兰中文

作者单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国高性能软磁、永磁材料及应用研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 45-52

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）