管道内壁原子层沉积铝薄膜的数值模拟研究

摘要：

通过求解气体吸附动力学方程,研究了采用原子层沉积技术在管道内壁镀制铝薄膜的可行性,计算了反应前驱体在管道内壁形成饱和吸附的时间.利用动态蒙特卡罗方法,模拟研究了铝薄膜的原子层沉积过程,研究了前驱体的温度对沉积速率和率薄膜在基底表面的覆盖率的影响规律。

关键词： 管道内壁 铝薄膜 原子层沉积技术 数值模拟 覆盖率

作者: 熊玉卿 刘恒 王济洲

作者单位: 兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室,甘肃兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届高能束加工技术国际学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 23-27

在线出版日期: 2012-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）