(ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究

摘要：

采用多靶磁控溅射与氮等离子体基离子注入技术制备了多元(ZrTANbTiW)N薄膜,对薄膜的组织结构及硬度进行了研究.结果表明:薄膜的化学成分主要受到样品距靶距离的影响:ZrTANbTiW合金薄膜为非晶或体心立方结构,而其(ZrTANbTiW)N氮化物薄膜由体心立方与面心立方固溶体结构组成;氮离子注入后样品的硬度与弹性模量都有较大程度的提高且最大硬度与弹性模量达到了9.8和149.1GPa.

关键词： 多元氮薄膜 组织结构 机械性能 化学成分

作者: 冯兴国 唐光泽 马欣新 孙明仁

作者单位: 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学空间材料及环境工程国家级重点实验室,黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江哈尔滨150001;哈尔滨工业大学金属精密热加工国家级重点实验室,黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学金属精密热加工国家级重点实验室,黑龙江哈尔滨150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届高能束加工技术国际学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 41-45

在线出版日期: 2012-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）