低温直流磁控溅射制备金红石相TiO2的研究

摘要：

利用直流磁控溅射方法在硅片和钛合金基底上沉积制备了二氧化钛薄膜.主要研究了变化的基片偏压对薄膜性能的影响.用XRD和SEM分析了薄膜的晶体结构和表面形貌,利用纳米压痕仪,划痕仪,摩擦试验机分别测试了薄膜的纳米硬度,膜基界面结合力和摩擦性能.结果表明,本方法在不加热基片的条件下制备出表面光滑致密,力学性能和摩擦学性能良好的金红石相TiO2薄膜.

关键词： 二氧化钛薄膜 低温直流磁控溅射 晶体结构 表面形貌 摩擦性能

作者: 王明娥 马国佳 孙刚 刘星 张林 巩水利 董闯

作者单位: 大连理工大学,辽宁大连116024;北京航空制造所高能束流加工技术重点实验室,北京100024 北京航空制造所高能束流加工技术重点实验室,北京100024 大连理工大学,辽宁大连116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届高能束加工技术国际学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 143-147

在线出版日期: 2012-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）