Ti-Cr合金薄膜局域结构的XAFS研究

摘要：

为了研究薄膜厚度对Ti-Cr合金薄膜局域结构的影响,通过磁控溅射沉积技术制备了不同厚度的Ti-Cr合金薄膜试样,合金薄膜中Ti和Cr的含量接近.利用X射线吸收精细结构(XAFS)谱和X射线衍射(XRD)仪研究了Ti-Cr合金薄膜的局域结构状态.X射线吸收近边结构谱(XANES)分析结果显示,元素的吸收边能量E0随薄膜厚度出现有规律的变化.XRD和扩展X射线精细结构吸收谱(EXAFS)结果显示,制备的合金薄膜为长程无序的非晶态,并分析了薄膜厚度对合金薄膜局域结构的影响.

关键词： 钛-铬合金薄膜 局域结构 磁控溅射沉积技术 X射线吸收精细结构谱

作者: 张延志 管卫军 郑黎荣 赖新春 汪小琳

作者单位: 表面物理与化学重点实验室,四川绵阳621907 中国科学院高能物理研究所,北京100049 中国工程物理研究院,四川绵阳621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届高能束加工技术国际学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 288-291

在线出版日期: 2012-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）