吸附氘和注入氘对钛膜微观结构的影响

摘要：

利用X射线衍分析射仪、慢正电子湮没技术和扫描电镜对Mo衬底上钛膜吸氘或注入氘前后的微观结构进行表征.结果表明:吸附氘改变了钛膜物相结构,注入氘未改变钛膜的物相结构;原始钛膜和吸附氘后的钛膜中缺陷分布均匀,吸附氘增加了钛膜缺陷浓度,载能氘粒子的注入对钛膜造成较大损伤:吸附氘对钛膜表面形貌无影响,由于选择性烧蚀,注入氘后钛膜表面不均匀性降低.

关键词： 钛膜 微观结构 表面形貌 氘粒子吸附 氘粒子注入

作者: 刘际伟 王博宇

作者单位: 中国工程物理研究院,四川绵阳621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届高能束加工技术国际学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 292-295

在线出版日期: 2012-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）