泡生法蓝宝石晶体炉内隔热屏损坏机理研究
泡生法蓝宝石晶体炉钼制内隔热屏是炉内温场的一个重要部件,但损坏的几率非常高.为提高内隔热屏的使用寿命降低整个晶体的生产成本,通过对损坏的蓝宝石晶体炉内隔热屏轴向厚度分布测量,结合钼材料真空蒸发速率与温度的关系对其损坏机理进行了研究.结果表明:钼材料的蒸发速率在中间区域很高,在上下两端非常缓慢.根据其厚度分布,针对对传统的双层结构内隔热屏缺陷,提出了更为经济合理的三层内隔热层设计思想,提出了通过降低真空度、增加中间区域厚度延长隔热屏寿命等设想.
泡生法蓝宝石晶体炉 内隔热屏 钼材料 损坏机理 泡生法 使用寿命
承刚 孟秀清 董珊
中国科学院半导体研究所,北京100086
国内会议
青岛
中文
517-519
2012-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）