热处理温度对VO2薄膜结构和相变性能的影响

摘要：

以H2O2和V2O5为前驱物,利用H2O2和V2O5特殊化学作用制备V溶胶,而后在云母基底上成膜,经不同热处理温度(450～570℃)退火还原得到VO2薄膜.利用SEM、XRD、XPS分析薄膜表面形貌和微观结构,利用FTIR检测薄膜在不同温度下红外透过率,确定薄膜的相变温度及滞后温宽.实验表明,双氧水法制备的VO2薄膜红外屏蔽效率高,且高温透过率仅为2％左右.热处理温度对VO2薄膜表面形貌、微观结构及相变特性均产生影响.510℃热处理退火可得到生长致密、粒径分布均匀、相变温度低、滞后温宽较小的VO2薄膜.

关键词： 二氧化钒薄膜 微观结构 相变性能 热处理温度

作者: 张玉波 黄婉霞 宋林伟 徐元杰 赵冬 吴静 李丹霞

作者单位: 四川大学,四川成都610064;四川工程职业技术学院,四川德阳618000 四川大学,四川成都610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届高能束加工技术国际学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 525-528

在线出版日期: 2012-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）