双阴极等离子溅射金刚石显微结构研究

摘要：

目前，关于SYJ金刚石的微观结构的研究还不充分，针对其镀层的研究对镀覆金刚石的应用具有较强的指导意义，在此基础上，本文分析了SYJ金刚石的表面形貌、镀层结构、晶粒大小及组织致密性。结果表明，双阴极等离子体溅射镀铬金刚石表层形成了厚度约为500nm的柱状结构镀层，镀层晶粒尺寸约为10nm。镀层主要有纯铬组成，仅在结合面附近存在少量铬的碳化物，具有十分致密的结构且表面起伏大。

关键词： 金刚石 双阴极等离子溅射工艺 显微结构 表面形貌

作者: 王超 揭晓华 徐江 陶洪亮 魏菊

作者单位: 广东工业大学材料与能源学院,广州 510006 南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京210016 广东奔朗新材料股份有限公司,佛山 528313

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013广东材料发展论坛暨战略性新兴产业发展与新材料科技创新研讨会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 231-231

在线出版日期: 2013-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）