聚焦离子束辅助沉积微区制栅技术

摘要：

本文主要介绍了基于聚焦离子束的辅助沉积技术的微区制备变形传感元件-光栅的制备,相比于以往的制栅方法,基于聚焦离子束辅助沉积的制栅方法对试件表面损伤小,对试件的要求低,定位方便,适合薄膜结构和微纳米器件表面的光栅制备.为了验证这种方法的有效性,采用聚焦离子束系统在铝膜/柔性基底结构表面沉积Pt,并利用铝膜表面沉积的光栅对铝膜表面裂尖的变形进行了测量,实验结果表面这种方法是行之有效的.

关键词： 光栅制备 聚焦离子束辅助沉积技术 参数优化 效果评估

作者: 吴丹 谢惠民

作者单位: 清华大学航天航空学院,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第20届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 408-409

在线出版日期: 2014-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）