磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究

摘要：

本文报道了五种磺酸肟酯类光产酸剂.并通过1HNMR谱、13CNMR、19FNMR及元素分析进行了表征.同时研究了它们的溶解性、热稳定性、紫外吸收特性及引发光聚合反应的动力学性能,结果表明这几种产酸剂适用于405nm紫激光成像体系中及其他光致成像抗蚀体系中.

关键词： 磺酸肟酯类光产酸剂 合成工艺 结构表征 性能评价

作者: 庞玉莲 邹应全

作者单位: 北京师范大学,北京100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 73-80

在线出版日期: 2013-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）