硫鎓盐光产酸剂的制备、纯化及其在248-nm光致抗蚀剂中的应用
本研究以α-溴代苯乙酮、四氢噻吩、三氟甲磺酸及九氟丁基磺酸钾等为原料,制备了两种硫鎓盐化合物.由于这类产物在应用中对金属离子含量的要求极高,实验中反复进行了纯化.并且使用石英、聚四氟乙烯器皿以减少金属离子的引入.目前已将产物的金属离子含量控制在了ppm水平.这类硫鎓盐可作为光产酸剂应用于化学增幅型248-nm光致抗蚀剂材料.
硫鎓盐光产酸剂 合成工艺 提取纯化 光致抗蚀剂
乔瑀 王力元
北京师范大学化学学院,北京100875
国内会议
天津
中文
81-84
2013-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）